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康鼎凈化無塵車間的防火技術

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工廠無塵車間對于防火有哪些要求
　

　　1）電子工廠無塵車間中，有使用丙酮、異丙醇等易燃化學品的潔凈室，這些化學品均屬甲類，因此將電子工廠無塵車間設有這些化學品的儲存間、分配間列為甲類。

　　2）電子工廠潔凈J房中，尤其在半導體類型無塵車間中常常使用H”S1H4. AsH3、PH3等町燃、有毒氣體，它們均屬可燃氣體、有毒氣體，因此將電子工廠無塵車間中設有可燃、有毒氣體的儲存、分配間列為甲類。

　　3）半導體器件、集成電路工廠的外延間，由于其生產過程中需使用H2. SiH4等可燃氣體，它們的著火下限均低丁10%，因此外延間理應列為甲類，但是近年來，隨著科學技術進步，半導體器件和集成電路生產所采用的外延設備的設計、制造技術的不斷提高；各種氣體供應、控制系統、設備和附件設計、制造技術的不斷提高，氣體報警設施的安全可靠性的長足進步和提高。

　　據調查表明：半導體器件和集成電路生產所采用的外延設備已配置有氫氣泄漏和排放超濃度報警、連鎖控制裝置以及滅火裝置等；半導體器件和集成電路生產用外延間的氫氣供應管路設有緊急切斷閥，一旦發生事故、火情時，自動切斷氫氣供應；外延問按建筑特點在可能積聚氫氣處設置氯氣報警裝置和事故排風連鎖控制裝置等安全技術措施。所以“規菹”制定時，考慮到在具備上述安全技術措施的條件下，宜將半導體器件和集成電路生產等所使用外延問列為丙類。

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